半导体洁净车间差压控制原理

洁净车间压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。

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当送入无尘室内的空气量适当的大于回风和排风量时,室内则可维持一定的正压值。此时,在洁净车间内外静压差的作用下,通过围护结构不严密处向外渗漏的风量与机械进出风量的差额相等。

洁净车间压差维持的难题在于机械送风量与出风量是动态变化的。对于洁净空调系统来说,过滤器积尘会造成新风、送风管路阻力增加,从而影响风量;排风设备的时开时停也会导致排风量的变化;此外,与楼道、室外相邻还会因热压、风压的变化影响房间的压差。

因此洁净车间的压差值需要经常进行检查,并依次对新、送、回、排风通路的阀门作出相应的调整。而博益公司的差压计压力传感器可以很好的监控洁净车间的风量动态变化,差压计和压力传感器具有响应速度快、精度高、耐腐蚀、使用寿命高等特点。

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